Hola.
Este problema puede ser debido a varias cosas. Te está diciendo que no puede crear el proceso. Algo así como si en windows te dijera que no puede crear el ejecutable.
A veces ocurre porque una instalación anterior (ya sea mediante la tienda o en Debug) no se puede eliminar.
Otra razón (que parece ser la que sucede en tu caso) es la relacionada con
ADB (Android Debugging Bridge), que tiene que ver con la pieza que permite desplegar la aplicación en el Dispositivos y comunicarse con ella para posteriormente hacer un Debug.
Revisa la configuración del SDK para ver que todo está correcto. Sobre todo lo referentre a esta aplicación.
Asegúrate también que tienes el dispositivo preparado.
En la Wiki de Embarcadero tienes definidos todos los pasos necesarios para preparar tanto el dispositivo como el IDE.
Mobile Tutorial: Set Up Your Development Environment on Windows PC (Android)
http://edn.embarcadero.com/article/43415
Running and Debugging Your Android Application On a Remote Android Device
http://docwiki.embarcadero.com/RADSt...Android_Device
Enabling USB Debugging on an Android Device
http://docwiki.embarcadero.com/RADSt...Android_Device
Installing the USB Driver for Your Android Device
http://docwiki.embarcadero.com/RADSt...Android_Device
Running Your Android Application on an Android Device
http://docwiki.embarcadero.com/RADSt...Android_Device
Troubleshooting: Cannot Run on an Android Device
http://docwiki.embarcadero.com/RADSt...Android_Device