Para crear un fichero y sobreescribirlo si ya existía con esto es suficiente:
Código Delphi
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procedure TForm1.Button1Click(Sender: TObject);
var F: TextFile;
begin
AssignFile(F, 'd:\pruebas\MiFichero.txt');
Rewrite(F);
Writeln(F, 'Creo un fichero y borro el contenido del anterior si existe...');
CloseFile(F);
end;
Un Saludo.