Hola,
Puede ser que el ejecutable esté en uso... el mensaje de error debería aclarar un poco más dónde está el problema. Asegúrate de que el ejecutable no esté en uso (aunque tú no lo veas, mira en el Administrador de tareas: CTRL + SHIFT + ESCAPE), reinicia Delphi... y si el mensaje de error contiene algo más de información cópiala aquí.
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