[ContraVeneno]

Si utilizas el componente server de D5, deberías desconectarlo:

Código Delphi [-]
 Excel.Disconnect;

Si usas una variable de la aplicación (tipo excel), deberías establecerla a nil:

Código Delphi [-]
 Excel := nil;

O tambien prueba:

Código Delphi [-]
{ Quita las marcas de comentario si quieres
que muestre las alertas de guardar }
// Excel.DisplayAlerts := False; 
Excel.Quit; 
Excel := Unassigned;

--editado
Toma en cuenta que Excel seguira en la memoria, de manera invisible, a menos que liberes todo el libro y las hojas (worksheets) que hayas usado. Desconecta todos los componentes, establece cualquier variable a nil y establece cualquier variant a unassigned para prevenir que se mantenga en memoria.