Hola lKinGl, puedes utilizar la función TryStrToDate.
Código Delphi
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procedure TForm1.MaskEdit1KeyPress(Sender: TObject; var Key: Char);
var
Fecha : TDateTime;
begin
if key=#13 then
begin
if TryStrToDate(MaskEdit1.Text, Fecha) then
else
begin
showmessage('Debe llenar bien la fecha');
MaskEdit1.SetFocus;
end;
end;
end;